多项选择题
A.选择比好B.容易造成衬底损伤C.设备昂贵D.不要终点检测
A.各向异性B.均匀性好C.各向同性D.设备简单
A.OESB.IEPC.RIED.HDP
A.RIEB.MERIEC.ICPD.HDP
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