多项选择题
A.光刻版的精度和良率高B.可分步重复曝光C.减小了尘埃的影响D.套刻精度高
A.X-射线是非光学曝光B.电子束是非光学曝光C.非光学曝光都不需要光刻版D.EUV是非光学曝光
A.使光通过后产生180度相位差B.提高分辨率C.消除了图形边缘的衍射
A.分辨率高B.显影时曝光部分不溶解，未曝光部分溶解C.分辨率低D.显影时曝光部分溶解，未曝光部分不溶解
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