单项选择题
A.磨头尺寸不对B.磨头目数大C.晶圆正面没有贴膜D.作业参数设置不良
下图为某减薄机的操作盘（局部）示意图，若需要暂停运行中的减薄机应按（）按键。
A.①B.②C.③D.④
A.BondB.SetupC.ConfirmD.Autobond
A.砂轮旋转的速度，一般以每分钟所转圈数表示B.砂轮按旋转轴的方向，向下移动的速度C.晶圆旋转的速度，也就是载台的转速D.晶圆每转一圈去除的硅厚度
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