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多项选择题

CVD基本过程包括（）。

A.在表面进行化学反应，在表面淀积成薄膜
B.副产物脱离吸附
C.脱吸副产物逸出反应室
D.反应剂传输至衬底表面，反应剂吸附在表面

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A.钨塞
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