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多项选择题

‏CVD薄膜有哪些应用？（）

A.钨塞
B.钝化层
C.层间介质BPSG

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A.SiO2
B.单晶硅
C.BSG
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B.直流溅射
C.磁控溅射
D.射频溅射
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A.薄膜生长技术
B.薄膜淀积技术
C.薄膜外延技术
D.薄膜堆叠技术
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