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多项选择题

光刻工艺三要素为（）

A.光刻机
B.光刻胶
C.掩膜版
D.涂胶机

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多项选择题
单晶硅生长是将电子级纯的多晶硅华为单晶硅锭，要实现这一条件需满足三个条件：（）、（）、（）。

A.原子具有一定的动能
B.要有一个排列标准
C.排列好的原子能稳定下来
D.不能含有任何杂质
多项选择题
切片是抛光片制备中一道重要的工序，因为这一工序基本上决定了硅片的四个重要参数，即晶向、（）、（）、（）。

A.平行度
B.直径
C.翘度
D.厚度
多项选择题
离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。

A.离子发生器
B.磁分析器
C.加速器
D.减速器
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